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中國科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”,啟動于美國深陷經濟危機、中國因北京奧運會呈現出盛世景象的2008年,此前2006年半導體芯片已經超越石油成為中國第一大進口商品。因在同期啟動的16個重大專項中排序第二,該項目又被稱之為“02專項”或“02重大專項”。與其同期啟動的16個重大專項包括載人航天工程、探月工程、北斗衛星導航系統、大飛機專項、新一代寬帶無線移動通信網專項即第五代移動通信網絡5G等,由此可見02專項的分量,美國近年來在半導體芯片領域對中國的“卡脖子”也顯示出“02專項”的先見之明。



但相比其他專項的高歌猛進與萬眾矚目,比如載人航天已經邁入空間站時代、北斗衛星導航系統全球組網已經完成、探月工程“繞落回”完美收官、5G建設進度世界第一、C919大飛機已經在試飛中,02專項要低調的多。儘管美國的“卡脖子”免費為中國人上了一堂半導體芯片知識普及課,令半導體芯片在中國炙手可熱,相關股票受到市場熱捧,但02專項仍很低調,並未進入公眾視野。





2020年中國進博會上的世界光刻機巨頭荷蘭阿斯麥爾展位。(多維新聞)

02專項之所以低調,無他,中國半導體芯片產業起點太低,錯過了半導體行業全球分工的時機,台灣在芯片代工領域、韓國在存儲芯片領域的優勢地位都是在上世紀九十年代以來的分工中逐漸形成的,彼時中國尚處于“三來一補”勞動密集型產業發展階段,直到21世紀加入世界貿易組織以來中國才逐漸發展成“世界工廠”,規模世界第一的機電制造業造就了世界第一的半導體芯片市場,每年消耗全球一半以上的半導體芯片。
也正是從這時開始,世界半導體芯片產業基于靠近市場、利潤最大化原則開始向中國轉移,美國邏輯芯片巨頭英特爾在中國的封裝測試工廠與12英寸晶圓廠、韓國存儲巨頭三星電子與SK海力士在中國的存儲芯片工廠、晶圓代工巨頭台積電在中國的晶圓代工廠等都是在這一過程中建立。與此同時中國自身的半導體芯片產業也開始起步,巨大的市場需求,不僅是中國與美國在半導體芯片領域博弈的籌碼,更是中國發展半導體芯片產業的最大助力。
也是因為低調,迄今中國官方僅在2017年舉行過一次新聞發布會,就02專項進行了說明與階段性成果匯報,還是作為16個重大專項系列新聞發布會之一舉行的。據發布會披露,02專項是16個重大專項中唯一由地方政府牽頭實施的項目,由北京、上海兩個地方政府牽頭實施;成果包括“研制成功14納米刻蝕機、薄膜沉積等30多種高端裝備和靶材、拋光液等上百種材料產品”並出口海外,國內量產半導體工藝由130納米提升至28納米,“LED、光伏等領域已實現關鍵裝備成套國產化”,“封裝企業從低端進入高端”等。在出席發布會的上海市科委專項技術總工程師葉甜春看來,“最大的進展不在于我做了幾個東西,而是國家集成電路制造技術體系、產業體系建立起來了”。

2017年中國科技部舉行國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”專項新聞發布會。(新華社)
2017年后中國官方再未權威發布02專項相關信息,只能從相關行業新聞中略窺一二。比如,南大光電公司近日發布新聞稿稱,“該公司承擔的02專項ArF光刻膠項目通過專家組驗收,這種光刻膠可用于90納米至14納米甚至7納米技術節點的集成電路制造工藝,已建成年產25噸產業化基地”,並強調“用于質量檢測的光刻機等量測設備是國外進口的,我們已經配備了,運轉良好,沒有被卡的顧慮。主要原材料是自己開發和生產的,沒有被卡風險。生產設備是聯合國內企業研制的,也不存在被卡風險”。
不過,南大廣電也指出“目前ArF光刻膠產品尚未實現規模化量產”,事實上由實驗室制備到量產其難度並不比全新研究低。至于比ArF光刻膠更先進的、配合極紫外光刻機(EUV)的EUV光刻膠,2018年中國科學院的新聞曾稱,由中科院化學所、理化所與北京科華微電子材料有限公司聯合承擔的02專項“極紫外光刻膠材料與實驗室檢測技術研究”項目進行了任務驗收和財務驗收。

02專項光刻機設計與總體集成商上海微電子光刻機一覽

相比光刻膠等,中國民眾最關心的還是光刻機。自中國通信設備制造商華為被美國制裁以來,光刻機就成為萬眾矚目的焦點,似乎有了光刻機就能解華為的燃眉之急,當然這是不可能的,但一點也不影響國產高制程光刻機的重大意義。據中國方正證券的一份研究報告披露,“在02專項光刻機項目二期中,設定的時間為2020年12月驗收193納米ArF浸入式DUV光刻機,其制程工藝為28納米”,即網絡上流傳已久的28納米光刻機,其對標產品為阿斯麥爾(ASML)現階段僅次于EUV光刻機、TWINSCAN NXT:2050i DUV光刻機的TWINSCAN NXT:2000i。

方正證券的研究報告還披露02專項中國產28納米光刻機的研發分工情況:上海微電子負責光刻機設計和總體集成,北京科益虹源提供光源系統,北京國望光學提供物鏡系統,長春國科精密提供曝光光學系統,北京華卓精科提供雙工件台,浙江啟爾機電提供浸液系統。目前,北京國望光學已經收購長春國科精密,事實上國望光學核心研發團隊就全部來自于國科精密,國科精密則源于中科院長春光學精密機械與物理研究所、上海光學精密機械研究所為承擔02專項“曝光光學系統”組建的研究團隊,長春光機所負責物鏡系統,上海光機所負責照明系統。

光刻機核心零部件曝光系統通過02專項驗收

據上海光機所信息光學與光電技術實驗室2017年工作報告披露,該實驗室承擔“研發的照明系統與投影物鏡一起在國產90納米光刻機上通過02專項組織的驗收測試,達到項目合同任務書考核指標與整機指標,極限光刻分辨率為85納米”。國科精密官網披露的發展歷程亦證實了這一點,2016年9月“我國首套NA 0.75光刻投影物鏡通過整機單位的系統性能測試,並實現交付”,2017年4月“我國首套NA 0.75光刻照明系統通過整機單位的系統性能測試,並實現交付”。
在此基礎上長春光機所已經開始攻關EUV相關光學技術。早在2002年,長春光機所就研制出國內第一套EUV光刻原理裝置,實現了EUV光刻的原理性貫通,2008年02專項將EUV光刻技術列為“32納米至22納米裝備技術前瞻性研究”重要攻關任務后,長春光機所牽頭擔起了“極紫外光刻關鍵技術研究”項目研究工作,這一項目在2017年6年通過驗收,“突破了制約我國極紫外光刻發展的超高精度非球面加工與檢測、極紫外多層膜、投影物鏡系統集成測試等核心單元技術,成功研制了波像差優于0.75納米RMS的兩鏡EUV光刻物鏡系統,構建了EUV光刻曝光裝置,國內首次獲得EUV投影光刻32納米線寬的光刻膠曝光圖形”。
在光刻機另一個核心技術雙工件台領域,2016年由清華大學機械工程系教授朱煜擔任負責人的研發團隊成功研發光刻機雙工件台系統樣機,並通過中國科技部02專項辦公室驗收。在研發雙工件台的同時,2012年以朱煜研發團隊為核心註冊成立了北京華卓精科,負責實施雙工件台的產業化。北京華卓精科官網在介紹其發展歷程時指出,2019年公司“納米運動精度光刻機超精密雙工件台技術與應用”榮獲2018年年度北京市科學技術進步一等獎,其官網產品展示中也包括“國內首台納米級超精密氣浮運動台”,可“滿足納米級精度尺度的產品定制需求,適用于OLED無掩模激光光刻、激光直寫光刻、光刻機等高端制造行業”,成為僅次于阿斯麥爾全球第二個掌握該技術的公司。
在浸液系統領域,浙江啟爾機電的前身是浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊,2017年接受02專項浸液系統研制任務。2019年12月,啟爾機電浸液系統產品研制與能力建設通過02專項CDR里程碑評審,“表明我司已圓滿完成國家02專項研發、設計和實驗階段任務”,成為繼阿斯麥爾、尼康后全球第三家掌握這一技術的公司。也就是說,啟爾機電研發的浸液系統已經由實驗室制備轉入量產階段,但目前尚未有量產的消息。
在光源領域,北京科益虹源控股股東是中科院微電子所,其技術團隊來自于中科院微電子所、光電研究院,系02專項光刻準分子激光器成果轉化落地單位。據《徐州經開區科益虹源集成電路光刻制造及服務基地項目開工》一文披露,2018年科益虹源自主設計開發的國內首台高能準分子激光器出貨,打破了國外廠商的長期壟斷,成為中國第一、世界第三能夠量產193納米ArF準分子激光器的企業。目前,40瓦光源已應用于上海微電子90納米光刻機,DUV需要的60瓦光源已研發成功。此外,哈爾濱工業大學已經研制出12瓦DPP-EUV光源,距離EUV的250瓦光源仍有很長的路要走。
從02專項發展歷程及種種公開報道來看,28納米光刻機或者說對標阿斯麥爾DUV的光刻機,其核心部件研究應屬于02專項在光刻機領域的一期工程,二期則是瞄準使用極紫外光源的EUV。大致在2017年左右,02專項光刻機領域一期工程驗收,即至少完成了實驗室研發階段,並制造出了原型機,進而以相關科研團隊為核心組建企業實施成功轉化,即實現原型機的量產或者說產業化。
目前來看,光刻機核心零部件曝光系統、光源、雙工件台都已經實現量產,浸液系統尚未有量產的消息。從上海微電子官網來看,目前出貨的最先進的仍是90納米“600系列”光刻機,90納米光刻機屬于該公司2017年通過02專項驗收的“90納米光刻機樣機研制”項目成果,同一年還通過了02專項“浸入光刻機關鍵技術預研項目”驗收,即至少在2017年上海微電子的DUV項目就完成預研將進入正式研制階段,這也與各核心零部件完成原型機時間節點一致。
前文引述方正證券的研究報告稱28納米光刻機將于2020年12月驗收,但顯然已經延遲,只能靜待佳音。而從原型機研制成功到實現量產,再到實際應用于芯片生產最終達致至少90%以上的芯片良品率,路還很漫長。




挺好,坐等2025年實現40納米和28納米能夠真正全國產!
到2030年實現在大陸內部壓倒性市場占有
再漫長的路都有盡頭,千萬不要回頭!


新聞來源連結:
https://www.dwnews.com/中国/60255198/中国28纳米光刻机最新进展曝光四大核心零部件突破技术封锁图



#5g
28納米,徙x鳩氣啦,
人地做既係3納米。

比大陸燒1那由他人民幣,做到3納米,
人地又會進步,去到0.28納米,

到時割習卒韭菜都救唔到華為!

[ 本帖最後由 等只想等到黎明 於 2021-8-8 07:44 AM 編輯 ]



有幾個心願,有生之年坐到國產929大飛機, 買到華為國產芯片嘅旗艦手機。


引用:
原帖由 等只想等到黎明 於 2021-8-8 12:44 AM 發表
28納米,徙x鳩氣啦,
人地做既係3納米。

比大陸燒1京人民幣,做到3納米,
人地又會進步,去到0.28納米
法拉利,林寶,頭十家超跑佔全球汽車總數有冇1%??



[隱藏]
引用:
原帖由 等只想等到黎明 於 2021-8-8 12:44 AM 發表
28納米,徙x鳩氣啦,
人地做既係3納米。

比大陸燒1京人民幣,做到3納米,
人地又會進步,去到0.28納米
做到14nm大概就cover市面90%需要



引用:
原帖由 等只想等到黎明 於 2021-8-8 12:44 AM 發表
28納米,徙x鳩氣啦,
人地做既係3納米。

比大陸燒1京人民幣,做到3納米,
人地又會進步,去到0.28納米
這事沒有外國技術
完全自主技術的28納米設備
通過技術提升可以再此基礎上提升到14納米
甚至7納米

現在中芯國際2019年在現有DUV技術設備上
通過技術改進
都已經可以生產 14納米
2020年已經可以量產了,良率也穩步提升,中芯國際14納米制程良率達95%

位於浦東張江哈雷路上的中芯南方集成電路制造有限公司(中芯南方廠)內,一顆顆芯片正“新鮮出爐”,“新”在於芯片生產線是國內首條14納米生產線。該工廠也是目前中國大陸芯片制造領域的最強者中芯國際最先進的生產基地。
記者了解到,在去年三季度,該工廠第一代14納米FinFET工藝已成功量產。按規劃達產后,中芯南方廠將建成兩條月產能均為3.5萬片的集成電路先進生產線。12納米技術也已開始客戶導入,下一代技術的研發也穩步開展。新生產線將助力未來5G、物聯網、車用電子等新興應用的發展。

[ 本帖最後由 笑看流浪英犬 於 2021-8-8 01:08 AM 編輯 ]



Good Job! China. 


總之, 朝向正確方向研究和發展, 沒有什麼是解決不了, 沒有什麼可以阻礙科技向前的... 努力加油...


🤔28納米夠做飛機火箭導彈...

做左軍事先...之後才做民生娛樂...



[隱藏]
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引用:
原帖由 DocHolliday 於 2021-8-8 12:48 AM 發表
有幾個心願,有生之年坐到國產929大飛機, 買到華為國產芯片嘅旗艦手機。
芯片及光刻機怎樣看也不會比上太空, 建核彈, 建衛星, 彈導難... ...

六十幾年前說要超英趕美, 大部份人在取笑

現在不已成了事實嗎?



引用:
原帖由 starr 於 2021-8-8 12:55 AM 發表

做到14nm大概就cover市面90%需要
一定要做到手機先得,因為大陸講面子,一日個個用晒三星唔用華為,一日都未達標



引用:
原帖由 等只想等到黎明 於 2021-8-8 12:44 AM 發表
28納米,徙x鳩氣啦,
人地做既係3納米。

比大陸燒1京人民幣,做到3納米,
人地又會進步,去到0.28納米
人地???一個地球才有一家人地,做第二好失禮

你唔講,以為阿貓阿狗都可以隨便做到



中國人, 要加油, 白人堆自以為是, 以為佢地就係世界


要打破它, 就要靠所有中國人的支持



[隱藏]
引用:
原帖由 等只想等到黎明 於 2021-8-8 06:15 AM 發表

一定要做到手機先得,因為大陸講面子,一日個個用晒三星唔用華為,一日都未達標
從來唔係面子問題
硅基芯片大概最多追到7nm吧,之後就轉換到新材料半導體技術
如上所說,做到14nm就滿足90%需求,解決卡脖子問題,目前消息是大概兩年突破技術
現在美西逼迫台積電到美歐日設5nm生產線,結果係成本大增
預估幾年後頂端手機價錢大漲,一部iphone兩三萬都唔出奇

[ 本帖最後由 starr 於 2021-8-8 07:33 AM 編輯 ]



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